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1. 半導(dǎo)體特性簡介與電阻率量測
2. 摻雜濃度,載子濃度,移動(dòng)率量測
3. 接觸電阻,Schottky 能障,與電遷移效應(yīng)評估
4. 串聯(lián)電阻,MOS器件之道長度與寬度,臨界電壓與熱載子效應(yīng)
5. 半導(dǎo)體缺陷相關(guān)特性量測
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